產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
厚度檢測(cè)系統(tǒng)適用于原硅片、返工片;電阻率檢測(cè)系統(tǒng)適用于原硅片
硅片尺寸:156mm-230mm;厚度檢測(cè)系統(tǒng)硅片厚度90-1000um; 電阻率檢測(cè)系統(tǒng)硅片厚度90-180um;
厚度檢測(cè)系統(tǒng)采樣率:1000FPS;電阻率檢測(cè)系統(tǒng)采樣率<=1ms ,采集數(shù)據(jù)>300點(diǎn)
產(chǎn)品明細(xì)
400-006-5266
總部熱線(周一至周五9:00-18:00)
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